Il carburo di silicio esiste sotto forma di composto. Esso e l'ossigeno possono formare ossidi stabili. La sua funzione principale è produrre varie leghe.
Nel suo processo produttivo, quarzo e silice vengono utilizzati principalmente come materie prime e prodotti con metodo elettrotermico. Il carburo di silicio comunemente utilizzato è diviso in due tipi in base al colore: carburo di silicio nero e carburo di silicio verde. Il contenuto di silicio nel carburo di silicio nero è leggermente inferiore a quello del carburo di silicio verde; sebbene la tenacità del carburo di silicio nero sia superiore a quella del carburo di silicio verde, può essere utilizzato per materiali con resistenza alla compressione inferiore, come ceramiche, materiali refrattari, ecc.; e il carburo di silicio verde ha buone proprietà autoaffilanti e può essere utilizzato per lavorare carburo cementato, leghe di titanio e alcuni utensili in acciaio rapido finemente macinati.
Il nitruro di ferrosilicio ha buone proprietà alle alte temperature, resistenza alla corrosione, resistenza all'usura e proprietà di sinterizzazione, elevata conduttività termica, piccolo coefficiente di dilatazione termica e altri vantaggi. Oltre ad essere ampiamente utilizzato nei fanghi degli altiforni, viene utilizzato anche nei refrattari contenenti carbonio. Ha ampie prospettive di applicazione nei materiali refrattari come materiali strutturali ad alta temperatura e calcinabili di magnesia. Poiché i metodi di deposizione sono diversi, anche i film di nitruro di silicio prodotti sono diversi e ci saranno anche differenze tra tensione e stress. Soprattutto quando viene utilizzata la tecnologia di deposizione chimica in fase vapore potenziata dal plasma, è possibile regolare i parametri di deposizione per ridurne la tensione.
